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248 nm 엑시머 레이져 지원 선택적 무전해 구리 도금 마이크로-코일
Selective electroless copper plating micro-coil assisted 248 nm excimer laser

등록 : 2008.11.19 ⋅ 45회 인용

출처 : Microelectronic Engineering, 71권 2004년, 영어 10 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.02.12
엑시머 레이저에 의해 생성되고 무전해 구리도금 용 반응물에 의해 활성화되는 마이크로 코일 패턴의 템플릿이 설명하였다. 생성된 마이크로 코일 패턴은 기판에서 구리패턴으로 변환되고 구리 미세 구조가 형성되었다. 이 방법은 기판에 구리 패턴을 형성하는 기존의 리소그래피 공정과 비교하여 기판에 회로를 만드는 제조...

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