로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 무전해구리 50건

습식도금 자료분류

자료수 10841 건

추천글

Tag LIST

다마신 층간 금속 구조의 상온 무전해 도금 구리 시드층 공정
Room temperature electroless plating copper seed layer process for damascene interlevel metal structures

등록 : 2014.07.17 ⋅ 14회 인용

출처 : Microelectronic Engineering, 50권 2000년, 영어 7 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Joseph P. O’Kelly1) Karen F. Mongey2) Yveline Gobilb,3) Joaquin Torres4) Patrick V. Kelly 5), Gabriel M. Crean 6)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.12
초박형 질화티타늄 TiN 장벽층에 상온 무전해구리도금 시드층의 개발이다. 이 새로운 공정은 0.118 μm 미만 ULSI 공정을 위한 [[다마신[] 층간 금속구조와 호환 된다. 최적의 구리층 두께 50 nm 및 최소 45 nm 도금속도를 목표로하였다. 원자간력 현미경 (AFM) 은 시드층의 불균일성이 피막두께의 10 % 미만임을 나타내...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
  2. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금 공정에서 발생하는 산업 폐수에서 킬레이트화된 구리 이온 제거를 위한 삼티오탄산나트륨의 사용
  3. 연구문헌자료.. 섬유 동도금방법
  4. 도금기술노트.. THEED
  5. 연구문헌자료.. 알칼리 프리 무전해 구리 도금에 있어서 결정 방향에 대한 계면활성제 첨가 효과
  6. 연구문헌자료.. 인쇄회로기판용 홀 금속화 기술 연구 진행
  7. 연구문헌자료.. 무전해 도금의 동역학: 구리-디메틸아민 보란 시스템
  8. 도금기술노트.. 메탄설폰산구리무전해욕
  9. 연구문헌자료.. Al2O3와 그 열처리 거동에 대한 구리의 무전해 도금
  10. 연구문헌자료.. 친환경 무전해욕에서 아진 유도체를 사용에 의한 구리 석출의 표면 형태
  • 인산철 염처리 ^ Iron Phosphate Film 인산철 처리는 철판 등의 방청처리나 도장하지처리에 이용되고 있다. 처리액의 기본성분은 H2PO4-, 금속이온 (Na+) 또는 암모늄 이온 ...
  • 주석-은 합금도금욕 ^ Tin-Silver alloy Plating Bath 은도금에 비하여 내마모성ㆍ내변색성이 우수한 도금으로 전기접점 등에 많이 이용된다. 시안 암모니아욕ㆍ시안 주석산...
  • 하나 이상의 단백질 유래 중합체, 당 유래 중합체, 소르비톨, 탄닌 또는 비닐 계 중합체, 요오드 또는 요오드-부족 화합물을 함유하는 금속 표면용 산세정 / 산세척 조성물 ...
  • 1975년 최초로 실용화에 성공한 주석-아연 합금도금약품이다. 자동차 및 내 염해 대책용 도금으로 뛰어난 성능을 발휘하며 연성이 좋아 2차 가공 내식성이 우수하다.
  • Co-Ni-P 합금박막을 중심으로 전기도금을 행하여 합금 원소의 첨가에 따른 자기적 성질의 변화를 수직방형과 수평방향에 대하여 조사하고 이들이 자기기록매체로서의 기본적...