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전기구리 도금에 의한 초미세 패턴의 제작
Preparation of ultra fine pattern formation by electro copper plating

등록 2008.08.11 ⋅ 62회 인용

출처 표면기술, 49권 10호 1998년, 일본어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.09
서브미크론의 미세배선 패턴의 전해구리 도금에 의한 스루홀 기술에 관하여 검토

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