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전기구리 도금에 의한 초미세 패턴의 제작
Preparation of ultra fine pattern formation by electro copper plating

등록 2008.08.11 ⋅ 53회 인용

출처 표면기술, 49권 10호 1998년, 일본어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.09
서브미크론의 미세배선 패턴의 전해구리 도금에 의한 스루홀 기술에 관하여 검토
  • 오염에 대한 고려는 비시안화 전기도금 공정의 개발을 위한 원동력이 되었다. 대부분의 은 Ag 도금은 시안화욕을 계속해서 사용하고 있지만, 비시안화 은욕을 개발하기 위해...
  • 수용성 산성용액 및 수용성 금속표면, 특히 아연 및 아연합금 표면을 처리하여 그 위에 개선된 내식성을 부여하는 연황색 무지개빛깔의 부동태피막을 부여하는 방법. 수용액...
  • 플라스틱에 도금하는 방법으로는, 진공석출법과 전기 도금법이 대표적인 것이다. 진공 증착법이란, 도금해야 할 금속을 진공 중에서 가열 기화시켜, 피도금체 표면에 석출시...
  • 무전해합금도금 방법에 따라 다양한 도금조건에서 팔라듐-니켈-인 Pd-Ni-P 금속 유리 박막의 제작을 실시했다. 얻어진 도금막의 조성은 도금 온도의 상승과 함께 Ni 함...
  • 전기 아연도금 강판 ^ Electro Galvanized Iron (EGI) 도금금속에 따라 단도금ㆍ합금도금ㆍ이층도금 등이 있으며 단도금으로는 순수 아연 전기도금 강판이 있으며 합금도금...