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검색글 Junishi IISHIHARA 1건
전기구리 도금에 의한 초미세 패턴의 제작
Preparation of ultra fine pattern formation by electro copper plating

등록 2008.08.11 ⋅ 62회 인용

출처 표면기술, 49권 10호 1998년, 일본어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.09
서브미크론의 미세배선 패턴의 전해구리 도금에 의한 스루홀 기술에 관하여 검토
  • 전해철박은 소프트자기적 성질이 압연철박에 비하여 우수하며, 이종재료와의 복합적성도 우수하여, 최근 자기환경의 증가에 힘입어 직류 또는 교류자계방생원에 대하여 자기...
  • 여러 조성을 가진 니켈-텅스텐 Ni-W 합금도금막을 만들고, 각각의 열처리에 의한 안정상에의 과정을 비교함에 따라, 도금 그대로의 막중 미세결정이 존재하여, 이들의 열처...
  • K-TECH TRI BLUE 12 chromate baths can be managed for a longer period of months without being discarded as i has a longer operating period compared to numerous ot...
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  • 공업용으로 이용가능한 비시안형으로, 배럴도금과 같이 고전류밀도 형태와 저전류밀도 형태와의 사이의 통전상태가 변화하는 등의 용도에도, 균일한 처리가 가능하여 불량발...