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양이온 계면활성제를 포함하는 배선용 무전해 구리(동) 도금액 및 이에 의해 제조된 구리(동)피막

등록 : 2015.06.12 ⋅ 20회 인용

출처 : 한국특허, 10-1224207, 한글 13 쪽

분류 : 특허

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.15
구리이온, 구리이온 착화제, 구리이온 환원제, 촉매 및 pH 조정제 외에 양이온성 계면활성제를 포함함으로써, 소지층 표면활성화 효과를 통한 응력(Stress) 감소 및 접합력 증대 효과를 나타내고, 배선 적용 물질의 주요 요구 특성인 저항 감소 및 미세 트렌치에 공극(Void)이나 심(Seam)과 같은 결함이 없는 구리피막을...
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