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양이온 계면활성제를 포함하는 배선용 무전해 구리(동) 도금액 및 이에 의해 제조된 구리(동)피막

등록 : 2015.06.12 ⋅ 20회 인용

출처 : 한국특허, 10-1224207, 한글 13 쪽

분류 : 특허

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.15
구리이온, 구리이온 착화제, 구리이온 환원제, 촉매 및 pH 조정제 외에 양이온성 계면활성제를 포함함으로써, 소지층 표면활성화 효과를 통한 응력(Stress) 감소 및 접합력 증대 효과를 나타내고, 배선 적용 물질의 주요 요구 특성인 저항 감소 및 미세 트렌치에 공극(Void)이나 심(Seam)과 같은 결함이 없는 구리피막을...
  • 에틸렌디아민테트라 삭산, 니트릴크리 삭산, 이미노디 삭산, 이미노디프로피온산 및 이들의 염류중 선택된 1종 또는 2종 이상의 구리와 그 수용액, 지방족 아민산의 1종 또...
  • 이러한 관점에서 본 보고서는 원하는 기능을 얻기위한 표면 제어기술 (가공기술)의 개요와 특징을 설명한다. 또한 최근 눈에 띄게 개발된 표면분석법을 이용하여 미세한 관...
  • 세라믹 기판을 용도별로 보면 반도체 소자의 베어를 구현하는 세라믹 패키지와 하이브리드 IC에 많이 사용되는 후막 기판으로 대별되며 모두 산화 알루미늄을 주성분으로 한...
  • 양극산화 업계에 넓게 정착된 황산의 전해액으로 투명한 양극산화 피막의 미세공에 염료를 흡착하는 염색법과 금속을 석출하는 전해착색법의 원리와 용도에 관하여 설명
  • 주석-납 합금 (주석 중량의 10~40 %) 은 모재 금속의 산화를 방지하고 납땜성을 향상시키기 위해 와이어에 도금된다. 인쇄 배선 기판 (주석 60 %) 에서 에칭 레지스트 역할...