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관통 Si 비아의 Co 라이너에 대한 무전해 Cu 시드에 있어서 욕조성의 역할
Role of Bath Composition in Electroless Cu Seeding on Co Liner for through-Si Vias

등록 2015.08.15 ⋅ 22회 인용

출처 Soli Stat Scie Tech, 4권 1호 2015년, 영어 5 쪽

분류 연구

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Solid State Science and Technology

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.08
높은 종횡비 (직경 3 μm, 깊이 50 μm) 로 Si 관통 비아 (TSV) 의 구리충진을 가능하게 하기 위해 코발트 라이너 재료에 구리시드의 무전해도금을 조사하였다. 환원제인 글리옥실산은 포름알데하이드의 경우 나타나지 않는 코발트에 양극산화를 나타냈다. 전기화학적 분석에서 최적화된 도금욕 조성은 무전해구리...
  • 산화막을 적극 활용하여 단계를 줄이고 도금작업에 필요한 작업시간을 단축하여 작업효율을 높일 수있는 금속재료 도금방법을 제공한다. 탄소용기로 이루어진 욕조에서 구리...
  • 356/5000 FZ-300은 Zincate에 비해 작동 시간을 35 % 단축 할 수 있다. (Bath 용량은 35 % 로 축소 가능） FZ-300 욕의 저전압은 아연산 욕에 비해 전기 소비를 줄일 수 있...
  • 도금 스트레스 분석기 (DSA)는 경제적인 일회용 테스트 스트립, 다양한 도금 셀, 도금석출 스트레스 분석기 (측정 스탠드) 로 구성됩니다. 테스트 스트립은 표면적이 작아 ...
  • 다층막 또는 조성변조 막이라 부르는 층형구조의 도금을 줄심으로 하여 최근의 펄스도금 동향과 이후의 가능성에 관하여 설명
  • 연속도금 시스템은 Cr(iii) 과 글리신을 기반으로한 전해질에서 크롬도금을 조사하는데 사용되었다. 크롬도금에 적합한 Cr(iii) 글리신 종을 확인하고 전해질의 준비 및 금...