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3 -N,N- 디메틸아미노 디티오카바모일 -1- 프로판설폰산을 사용한 무전해 구리 상향식 충진
Electroless Cu Bottom-Up Filling Using 3 -N,N- Dimethylamino dithiocarbamoyl -1- propanesulfonic acid

등 록 2015.10.23 ⋅ 48회 인용

출 처 Electrochemical and Solid-State Letters, 8권 11호 2005년, 영어 3 쪽

분 류 연구

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저 자

기 타 3 -N,N- Dimethyl amino dithio carbamoyl -1- propane sulfonic acid

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.08.01
무전해 구리도금에서 3 -N,N-디메틸아미노 디티오카바모일 -1-프로판 설폰산 (DSP) 사용을 시도 하였다. 평면표면에 대한 가속효과는 낮은 DPS 농도에서 관찰되었으며 억제효과는 높은 농도에서 발견되었다. 디피리딜 (2,2- dipyridyl) 의 동시첨가는 표면형태를 향상 시켰다. 필링 프로파일은 추가된 DPS 의 농도에 따...

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