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구리전석에 있어서 SPS 및 MPS 의 반응기구 해석
analysis of Reaction Mechnizm of SPS and MPS on the Copper Electro-Deposition

등록 : 2016.01.21 ⋅ 31회 인용

출처 : 표면기술, 66권 1호 2015년, 일어 3 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

硫酸銅浴からの銅電析におけるSPSおよびMPS反応機構解析

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.16
구리와 황산을 주체로한 황산구리욕을 이용한 구리전석는 다층 배선판의 회로형성의 비아와 트렌치 스루홀에 구리충전과 전해구리(동) 박의 제조 등에 이용되고 있으며, 전자분야 에서 필수적인 기술이다. 이 욕은 전석막의 물성개선을 목적으로 각종 첨가제를 첨가하는 것이 효과적이며, 이들 중 중요한 첨가제는 비스 ...

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