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IrO /Ti 불용성 양극을 이용한 비아필링용 황산구리 도금
Acid copper plating for Via filling using IrO2/Ti insoluble anode

등록 2008.08.23 ⋅ 50회 인용

출처 일렉트로닉스학화지, 9권 3호 2006년, 일본어 6 쪽

분류 해설

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.06
불용성양극를 이용한 황산구리 도금은 양극 부근에서 산소가스의 발생으로 산화반응이 일어나 첨가제의 분해를 촉진한다
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