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전기구리 도금에 의한 ULSI 배선의 제작
ULSI circuit produce by copper electroplating

등록 2008.08.23 ⋅ 65회 인용

출처 na, na, 일본어 1 쪽

분류 연구

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기타

電気銅めっきによるULSI 配線の作製

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.29
황산구리 하이스로욕을 이용하여 전류밀도를 저전류밀도로부터 고전류밀도로 상승하여 양호한 스로홀도금을 하고, 평골성이 높은 피막을 만들기 곤란하여, 첨가제를 이용할때의 수루홀기능을 검토
  • 무전해 도금공정에서 소재표면의 준비가 강조되는 표면거동은 매우 중요하다. 무전해 도금공정의 역학뿐만 아니라 표면거동에 직간접적으로 영향을 미친다. 메커니즘에 관한...
  • 폴라로 그래픽 최대치에서 니켈도금용 첨가제의 억제작용을 분석에 적용했다. 구리 최대 값은 1급 광택제 분석에 적합한 것으로 밝혀졌다. 사용된 첨가제는 1,5 -나프탈렌 ...
  • 염화제2구리 에칭 재생을 위한 공정 지침은 염화 제2구리의 금속 보유 용량을 본질적으로 무한하게 만들었으며, 이는 다른 반대를 극복하는 이점이다. 오늘날 염화구리는 세...
  • 구리의 화학적 기계적 평탄화(CMP)는 서브미크론 범위와 다단계 금속화를 생성하는 데 필수적인 공정이다. 동적 및 정적 제거 속도 측정뿐만 아니라 전기화학을 사용하는 Cu...
  • 아노다이제이션 (Anodization) 양극산화는 15 % 황산 전해욕액 투입된 알루미늄 제품을 양극으로 한 전해 부동태 피막을 말한다. 바깥 표면에는 산화 알루미늄 층이 쌓이며 ...