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다마신 공정에 있어서 구리욕 노화에 대한 가속화와 양극의 영향
Influence of the anode and the Accelerator on Copper Bath Aging in the Damascene Process

등록 2018.01.15 ⋅ 31회 인용

출처 Electrochemical Society, 152권 12호 2006년, 영어 13 쪽

분류 연구

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저자

P. Mocoteguy1) C. Gabrielli2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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자료요약
카테고리 : | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.08.11
반도체 산업에서 트렌치와 비아의 수퍼필링을 위한 다마신 공정에 사용되는 구리도금욕의 노화를 특성화하기 위해 전기화학적 임피던스분광법과 순환전압전류법이 사용되었다. 구리 양극조성, 양극전류밀도, 가속기 특성 및 농도의 영향을 연구하였다.

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