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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.01.09
VUV 처리및 아미노산팔라듐 착체촉매를 이용한 메탈라이징법에 COP 수지의 적용을 검토하고, COP 수지표면에 포토마스크를 낀 VUV 조사하여 선택적 개질을 하고, 우선적으로 촉매가 흡착된 것에, 제어처리를 이용하지 않는 간단한 방법으로 10 μm 이하의 선폭을 미세한 금속패턴을 형성하는 연구