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구리 전기화학 석출 시스템을 위한 고급 여과
Advanced Filtration for Copper Electrochemical Deposition Systems

등록 : 2008.08.30 ⋅ 35회 인용

출처 : Pall Corporation, ABC-101-1204, 영어 3 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.02.09
90 nm 제조 노드이하에서 구리공정 변수를 충분히 이해하여 구리도금을 허용하고 기술을 활성화 하였다. 구리도금의 핵심 문제에는 트렌치/비아 프로파일 및 종횡비 제어, 원하는 시드레이어 특성 달성, 안정적인 수준의 유기 첨가제 및 도금액 화학관리가 포함된다. 구리피막의 결함 감소는 생산성 향상으로 이어질 것...
  • 마그니 659는 연료 배관용으로 개방된 완전 크롬 프리 고내식성 코팅 시스템으로, 알루미늄을 주성분으로 하는 도전성 열경화성 수지의 1층으로 이루어지는 보호 기술입니다...
  • 실질적으로 모두 3가 상태에있는 유효량의 크롬 이온을 함유하는 산성용액을 제공하는 단계를 포함하는 내식성 및 경도가 개선된 부동태 막을 도금하기위한 금속표면, 일반...
  • 각 도금욕 조건에서 구리석출의 분극곡선을 측정하여 합금전착시의 구리의 거동을 조사하고, 정전류도금법과 펄스도금법으로 만든 납-주석-구리 Pb-Sn-Cu 3원 합금 금도금막...
  • 산화크롬 · Chrome Oxide Cr2O3 Cas 1308-38-9 진한 녹색 분말 [연마재]에 사용된다 참고 wiki 산화크롬
  • 분산성이 우수한 단분자 구리 Cu 미립자를 제조하기 위하여, 황산수용액으로 부터 하이드라진 Hydrazine 에 의한 Cu 미립자의 초기 생성거동을 면밀히 관찰하였고, 또한 Cu ...