도금 첨가제 제조 원료약품 - 구리 Cu 및 은 Ag 금속 배선을 위한 전기화학적 공정

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구리 Cu 및 은 Ag 금속 배선을 위한 전기화학적 공정

electrochemcial Metallization process for copper and silver metal interconnection

등록 : 2010.06.14 ⋅ 37회 인용

출처 : 화학공학, 47권 2호 2009년, 한글

분류 : 연구

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저자 :

권오중¹⁾ 조성기²⁾ 김재정³⁾

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자료요약

카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.05

구리배선 형성을 위하여 사용되는 전해도금과 무전해도금에 대하여 연구 동향을 요약하고, 더불어 전해도금과 무전해도금을 통한 은 (Ag) 배선을 정리함

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