로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 P. Moçotéguy 8건

습식도금 자료분류

자료수 11087 건

추천글

Tag LIST

전기화학 임피던스 분광학에 의한 다마신 공정 조사에 있어서 양극의 영향
Influence of the anode in the damascene process investigated by electrochemical impedance spectroscopy

등록 2011.08.02 ⋅ 75회 인용

출처 NA, NA, 영어 9 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.21
이중다마신 구리전기도금은 공통적으로 집적회로에서 구리 내부회로에 사용된다. 일반원리는 구리아노드를 사용한 도금액으로, 황산, 황산구리, 염화물 그리고 여러가지 첨가제로 광택제/가속제, 캐리어/감속제, 레벨러 등의 고속필링제가 사용된다.

연관글

  1. 연구문헌자료.. 이경 비아 사이의 황산 구리 도금막 두께 차이에 미치는 원인과 대책의 고찰
  2. 연구문헌자료.. 고신뢰성 파인 마이크로비아의 형성
  3. 연구문헌자료.. 은을 도금 시드로 사용하는 새로운 구리 배선 형성 기술
  4. 연구문헌자료.. 3차원 구현 TSV를 향한 무전해 도금 배리어 막 형성과 그 위의 직접 무전해 Cu 도금
  5. 연구문헌자료.. 프린트 배선판의 제조 기술과 기술 동향
  6. 도금기술노트.. APE9
  7. 도금기술노트.. MF86
  8. 연구문헌자료.. 첨단 패키지용 전기 도금 구리 첨가제 : 리뷰
  9. 연구문헌자료.. 나노 접착제로 폴리머 나노시트를 사용한 폴리이미드에 무전해 구리 도금
  10. 도금재료 카타록/TDS.. E-Brite 207 / 그라비아 산성구리도금