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존 플레이트 나노구조의 제어된 전기도금을 위한 소형 아황산염 기반 금욕
Miniaturized Sulfite-Based Gold Bath for Controlled Electroplating of Zone Plate Nanostructures

등록 : 2022.07.06 ⋅ 9회 인용

출처 : micromachines, 13권 2022년, 영어 9 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 금은/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.07.07
금으로 만든 X선 존 플레이트는 X선 영상 실험에 사용되는 일반적인 광학 부품이다. 일반적으로 전자빔 리소그래피와 시안화욕을 사용한 금 전기도금으로 제작된다. 소형화된 금-아황산욕에서 금 전기도금 공정을 실험하였다. 잘 정의된 크기의 온칩 기준 소형 도금 영역으로 가능하며, 제작된 골드 존 플레이트는 싱크로트...
  • 반도체 패키지용 서브스트레이트에 관하여, 예로부터 일반적인 프린트배선판의 제조방법인 PTH법을 이용한 어프로치를 설명
  • 스퍼터 증착법으로 제조한 Cu-Cr합금 박막위에 향상된 접착력을 갖는 Cu 전기도금을 위한 전처리 방법과 Cr양의 증가에 따른 에칭특성의 변화를 연구, 에칭용액의 최적 조성...
  • 스테인리스 ㆍ Stainless Steel 대략 11 % 이상의 크롬이 혼합된 강철 합금으로 크롬 산화물이 표면의 부식을 방지 전체적으로 부식이 확산되지 못하게 한다 일반 철강에 비...
  • 주파수, 평균 전류밀도 및 듀티사이클이 전기도금된 니켈의 경도에 미치는 영향은 직접 및 직사각형 펄스전류를 사용하여 와트 및 황산욕으로 연구되었다. 와트욕의 결과는 ...
  • PURE MSA® 의 개발과정에서 Arkema 는 메탄설폰산 기반 도금용액의 주석 전기도금에 대한 다양한 불순물의 영향을 연구했다. 산성 주석 메탄설폰산 도금액에서 염화물의 영...