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습식 에칭 기술동향
Trend of Wet etching technologies

등록 2008.09.03 ⋅ 63회 인용

출처 Web, na, 한글 11 쪽

분류 해설

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na1)

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
침지처리법 (Immersion processing) 은 유효성이 검증된 웨이퍼 세정방법 이지만 보다 엄격한 프로세스 허용오차가 요구됨에 따라 0.1 이하 급에 대응하기 위해 철저한 변신을 하고 있다. 새로운 batch 타입 단조식 (single -tank) 프로세스는 물에 불산 HF 를 희석시킨 DHF 용액을 이용하여 중요한 에칭공정에서 탁월한 균...
  • 크롬 Cr wt 7 % 함유된 전석 아연크롬합금도금 Zn-Cr 피막의 구조를 XPS, X선회절, TEM 등의 해석기구를 이용하여 밝히고, 전석피막의 가열변화 거동등을 연구
  • 아직까지 무전해도금이 시도되지 않은 탈륨을 니켈-인 Ni-P 도금피막에 공석시켜 합금피막을 형성시키고자 하였으며, 도금조건에 관한 검토 결과와 석출피막의 결정구조에 ...
  • PFAS ^ per(poly) fluoro alkyl substances 과불화 화합물을 말하며 섬유ㆍ의류 방수ㆍ얼룩 방지ㆍ세척 등에 사용되며 9,000가지 이상의 합성 화학물질로 구성되어 있다. PF...
  • 본 발명은 도금속도를 제어할수 있고 반도체 특성에 크게 영향을 미치지 않고 작업자의 건강에 문제가되지 않는 무전해 도금액 및 무전해 도금 공정에 따른 배선 형성 방법...
  • 아사다법 · Asada Process 1960년에 일본의 아사다 후토히로 가 만든 알루미늄의 무기 전해 [착색]법이다. 브론즈 및 갈색의 피막으로 알루미늄 샤시 등에 이용되며 아노록...