로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 레베링 3건

습식도금 자료분류

자료수 10977 건

추천글

Tag LIST

구리 평탄화에 대한 패턴 스케일 효과와 그 웨이퍼 및 구리 레베링 첨가제의 실험 연구
Experimental study of copper leveling additives and their wafer and pattern-scale effect on copper planarization

등록 : 2022.07.30 ⋅ 60회 인용

출처 : Comptes Rendus Chimie, 16권 2013년, 영어 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.08.06
Cu 레베링 첨가제가 전착된 Cu 지형 및 후속 평레베링 거동에 미치는 영향을 패턴 및 웨이퍼 스케일 에서 연구하였다. 레벨링 첨가제는 전착된 Cu 지형, 특히 '마운딩'을 크게 줄일수 있다. 레벨러 무첨가 화학물질로부터 전착된 Cu의 경우, 상당한 패턴 규모의 토포그래피가 거의 전체 레벨링 공정에 걸쳐 지속되는 반...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 도금 첨가제의 작용 기구와 표면 형상 제어 - 기능에서 과학으로
  2. 연구문헌자료.. 금속 전착에 있어서 레베링과 광택제의 몇가지 기초적인 측면
  3. 도금기술노트.. 첨가제
  4. 연구문헌자료.. 황산 구리도금욕에서 광택 구리도금의 레베링에 있어서 욕조성과 광택제의 영향
  5. 연구문헌자료.. 시안화구리 도금의 도금조건 및 첨가제의 평골화 효과의 영향
  6. 연구문헌자료.. 니켈도금에 있어서 아세틸렌계 첨가제의 니켈석출전위에 있어서 영향과 레베링작용에 관하여
  7. 연구문헌자료.. 아연 전기도금의 전착성에 미치는 폴리에틸렌 글리콜의 영향
  8. 연구문헌자료.. 헐셀시험에 의한 새로운 도금의 레베링측정
  9. 연구문헌자료.. 도금의 평골능에 관한 실험법에 관하여
  10. 연구문헌자료.. 도금액중의 레벨러 농도 측정방법
  • 알루미늄 재료의 성분, 제조 조건이 양극 산화 피막의 외관, 피막 성질에 매우 밀접한 관계에 있어, 양극산화 처리 작업에 있어서 우선 사용하는 알루미늄 재료의 종류, 성...
  • 금, 니켈 또는 구리로 비전도성 표면의 금속화를 위한 용매방법으로 소재에 팔라듐의 열감응 배위 착화물이 도금된다. 복합체는 화학식 Lm PdXn을 가지며, 여기서 L은 리간...
  • 루갈반 ㆍ Lugalvan 독일 [BASF] 사의 도금용 광택ㆍ첨가제 원료약품 등록상표 Lugalvan [BPC48] ⇒ Na, Benzyl Pyridinium Carboxylated ⇒ 알칼리 아연 및 합금 광택제 Luga...
  • KOMODA 가 사용한 염화물 및 전해액을 사용하고 전해조건 즉, 온도, 전류밀도 및 전해액의 유속의 변화에 따른 전착층의 조직특성(전착층의 조성, 현미경 조직 및 우선 배향...
  • 수용성 도금욕 및 침지도금 방법은 도금속도를 높이고 더 좋은 밀착성을 위한 두꺼운 피막을 연구하였다. 이는 리터당 23 g 의 염화주석 SnCl2 • 2H2O 의 침지주석 도금욕과...