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초임계 유체중 아닐에 의한 구리도금막의 개질
Improvement of electrodeposited Copper Films by Annealing in SUpercritical Fluid

등록 : 2012.07.06 ⋅ 39회 인용

출처 : 표면기술, 61권 8호 2010년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Kazuyoshi UENO1) Yuji SHIMADA2) Yoshinori AOKI3) Shigeru YOMOGIDA4) Seishi AKAHORI5) Tomohiko YAMAMOTO6) Takamasa YAMAGUCHI7) AKIKO MATSUYAMA8) Takashi YATA9) Hideo HASHIMOTO10)

기타 :

超臨界流体中アニールによるめっき銅膜の改質

자료 :

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분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.10
입계 산란을 줄이기 위해서는 입계의 감소 즉 입자 크기의 확대가 유효하다고 생각된다. 구리 배선에 사용되는 구리는 황산 구리도금욕을 이용한 전기도금에 의해 도금된다. 도금액에 포함된 미세패턴에 보이드 없는 첨가제로서 억제제나 촉진제 등의 유기분자가 첨가되어 있다. 이러한 유기분자는 도금막 중에 흡수되어 도...
  • 본질적으로 물, 시안화금소다 및 시안화금칼륨으로 구성된 그룹에서 선택된 가용성 금염 1리터당 약 20 mg ~ 약 30 g, 리터당 약 80 mg ~ 약 120 g 으로 구성된 이온대체 침...
  • 1946년 미국에 Bureau of Standard 의 Brenner 및 Riddel 씨가 처음, 전혀 전해에 의하지 않으며 화학적도금법 소위 무전해니켈도금법을 발명하였다. 이는 양이온 [[차...
  • 피도금 기재로서 니켈분을 중결정으로 사용하여, pH를 중성부금으로 제어하여, 노화액중의 Ni(+2) 를 제거 회수하는 환원결정 프로세스의 검토
  • 오늘의 전자기기의 발전은 그것을 만들어 내는 습식 화학기술의 진보에 힘입고 있다고 해도 결코 과언이 아니다. 본보에서는 기능도금(특히 플라스틱에 형성되는 기능도금) ...
  • Pd/S 촉매를 이용한 직접 도금 메커니즘을 도금 성능을 기반으로 조사하고 흑연 콜로이드 필름을 사용한 시스템과 비교하였다. Pd/S 층의 표면 전도성보다는 황 원자의 가교...