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광학식 막후계에 의한 광학박막의 막후측정
OPtical film thickness monitor

등록 : 2008.09.19 ⋅ 37회 인용

출처 : 표면기술, 40권 2호 1989년, 일본어 7 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.12.16
광학박막의 성막시에 사용되는 광전식막후계에 관하여 원리 및 사용상의 제반문제점을 해설