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도금표면의 형태측정 - 미크로표면형태을 측정하다
Measurement technologies for surface morphology

등록 2008.09.20 ⋅ 54회 인용

출처 표면기술, 49권 9호 1998년, 일어 6 쪽

분류 해설

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.12.16
도금표면의 캐릭터리제이션에 있어서, 표면형태의 해석이 필요하다, 표면의 3차원형택측정법의 현황, 측정의 포인트, 해석의 흐름, 오차의 발생원인을 해설하고 도금표면의 형태특정예에 관하여 소개
  • NTA
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  • -소개 -전기 도금의 기초 -Damascene Cu 전기도금 화학 -다마신 필름 증착 -모델링 기능 -프로세스 통합 -공정 제어 접근
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  • 각종 전기도그욕의 특성에 대하여 끝마무리면의 양불, 조작의 경제성, 액관리의 용이성 및 생태에 의한 영향을 특히 강조하여 설명 [亞鉛도금 - 現在의 技術과 將來의 動向]