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금-주석 AuSn 합금박막 전기도금의 비시안욕 안정화의 개발
Development of stable, non-cyanide solutions for electroplating Au-Sn alloy films

등록 : 2012.11.10 ⋅ 50회 인용

출처 : MATERIALS SCIENCE, 1권 2006년, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 금은/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.13
다양한 조성의 금-주석 Au-Sn 합금은 약산성 염화물 기반 용액을 사용하여 블랭크 웨이퍼와 패턴 웨이퍼에 성공적으로 펄스도금을 할수있다. 그러나, 도금용액은 제한된 안정성 (약 2~3일) 을 가지며, 그 후에는 도금액 조성을 제어 할수 없다. 이 작업의 목적은 보다 안정적인 Au-Sn 전기도금액을 개발하는 것이다. 단일 Au...

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