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자료요약
카테고리 : 전기도금통합 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.02.17
산성 황산구리욕의 첨가제는 억제제, 레벨러 및 촉진제로 구성된다. 전자는 볼록영역에서 구리도금을 억제하고 후자는 소량의 염소 Cl- 이온이 존재하는 오목영역에 구리도금을 촉매로 하여 비아/트렌치 구리를 생성한다. 다음 섹션에서는 많은 연구자들이 축적한 지식을 바탕으로 첨가제의 역할을 설명한다.