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저불산 불소계 화합물 수용액을 이용한 글라스 박판화
Glass Thinning by Fluoride Based Compounds Solution with Low Hydrofluoric acid Concentration

등록 2013.01.31 ⋅ 48회 인용

출처 공업화학, 20권 5호 2009년, 한글 4 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.16
불산의 농도를 대폭 낮추기 위하여 불화암모늄 NH4F, 산성 불화암모늄 NH4HF2 등의 불소화합물 및 황산, 질산 등을 첨가한 혼산 용액을 제조하여 기존의 불산 베이스 에칭용액에 비교하여 에칭속도뿐만 아니라 에칭 후의 글라스 외관상태, 표면조도 등을 검토하였다. 그리고 대형글라스를 100 μm 이하로 박판화하기 위한 새...
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