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무전해 캡핑 도금 방법 - 무전해도금에 의한 Cu배선상의 Co 합금박막의 형성기술
Electroless plating process for cobalt alloying capping

등록 : 2008.11.27 ⋅ 28회 인용

출처 : 에바라시보, No.207, 일어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

無電解キャップめっきプロセス-無電解めっきによるCu配線上へのCo合金薄膜の形成技術

자료 :

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.03.29
무전해 캐핑도금방법의 개요를 설명하고, 당사의 연구 개발로부터 얻은 연구방법성능의 평가결과에 관하여 소개

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