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무전해 캡핑 도금 방법 - 무전해도금에 의한 Cu배선상의 Co 합금박막의 형성기술
Electroless plating process for cobalt alloying capping

등록 2008.11.27 ⋅ 41회 인용

출처 에바라시보, No.207, 일어 5 쪽

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無電解キャップめっきプロセス-無電解めっきによるCu配線上へのCo合金薄膜の形成技術

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.03.29
무전해 캐핑도금방법의 개요를 설명하고, 당사의 연구 개발로부터 얻은 연구방법성능의 평가결과에 관하여 소개
  • 착화제 및 환원제로 유기질소 화합물인 호박산 이미드 및 이미다졸을 사용한 무전해은 Ag 도금욕에 관하여, 무전해 니켈-인 합금도금 소재의 용해에도 은 Ag 의 치환석출에 ...
  • 악셀레이터 · Accelerator 비전도 수지의 무전해도금 전처리 과정 중 무전해도금의 초기 석출을 일으키기 위한 촉매 처리제다. 일반적으로 0.1~0.4 g/l PdCl2 5~30 g/l SnCl...
  • 양극산화피막을 실시할 경우, 욕조성, 처리조건에 대하여 기재되어 있지만, 얻어진 피막조성에 대하여 계통적으로 해석, 평가한 예는 아직 없다. 양극산화피막의 조성을 해...
  • MEMS 란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로 혼용되고 있으며, 번역하연 초소형 시스템이나 기계를 의미한다.
  • 도금 공정에서 도금막의 품질 유지와 요구되는 기능을 얻기 위해서는 적절한 동금액 유지가 매우 중요하다. 그러나 실제 도금 공정에서는 시간이 지남에 따라 도금조의 상태...