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전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과
Effect of levler on the trench filling during damascene copper plating

등록 : 2008.08.23 ⋅ 36회 인용

출처 : 한국전기화학회지, 5권 3호 2002년, 한글 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.10.15
레벨러를 첨가한 도금액과 첨가하지 않은 도금액을 제조하여 레벨러 유뮤에 따른 트렌치 충전 양상을 살펴보았고, 공극 형성 원인을 고찰해 보았다