도금 첨가제 제조 원료약품 - 전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과

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전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과

Effect of levler on the trench filling during damascene copper plating

등록 : 2008.08.23 ⋅ 42회 인용

출처 : 한국전기화학회지, 5권 3호 2002년, 한글 6 쪽

분류 : 연구

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저자 :

이유용¹⁾ 박영준²⁾ 이재봉³⁾ 조병원⁴⁾

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자료요약

카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.10.15

레벨러를 첨가한 도금액과 첨가하지 않은 도금액을 제조하여 레벨러 유뮤에 따른 트렌치 충전 양상을 살펴보았고, 공극 형성 원인을 고찰해 보았다

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