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비아홀에 이용되는 구리도금 첨가제의 메카니즘 제3보 - 홀크기의 영향
Effect opening width on copper filling electrodeposition

등록 2010.06.01 ⋅ 66회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 6권 2호 2003년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.03
가속효과는 트렌치의 단면 관찰과 트렌치 바닥에서만 전극으로 측정된 전류-전압 곡선을 통해 분석되었다. 단면 관찰은 SPS [Bis (3-sulfopropyl) disulfide] 에 트렌치 바닥 가속효과가 있음을 나타냈다. 이 트렌치 바닥 가속 효과는 전착시간에 따라 증가하였다. 전류-전압 곡선은 트렌치 개구부 폭이 좁을수록 트렌치 바...

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