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구리 전기도금에서 억제제로서의 PEG, PPG 및 이들의 삼중 블록 공중합체
PEG, PPG, and Their Triblock Copolymers as Suppressors in Copper Electroplating

등록 2011.08.02 ⋅ 114회 인용

출처 Electrochemical Society, 155권 10호 2008년, 영어 8 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.16
구리 전착 중 억제에 대한 연구는 일반적으로 폴리에틸렌 글리콜 PEG 을 포함하므로 억제 분자의 화학적 성질을 변화시키는 전착 연구가 수행되었다. 다른 폴리에테르 첨가제는 폴리프로필렌 글리콜 (PPG) 및 PEG 와 PPG 의 삼중 블록 공중합체, EPE 라고 하는 에틸렌 옥사이드 말단 블록, PEP 라고 하는 프로필렌 옥사이드 ...

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