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Si 웨이퍼상의 무전해니켈 도금에 있어서 자외선조사 효과
The effect of UV-Irradiation on electroless plating of Nii onto Si wafer

등 록 2008.08.03 ⋅ 50회 인용

출 처 표면기술, 42권 호 1991년, 일어 2 쪽

분 류 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.22
Si 웨이퍼상의 무전해 니켈 Ni 도금에서 UV 광을 조사하고, 도금에 주는 광조사효과에 대하여 검토
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