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초고집적 회로를 위한 무전해구리 도금
Electroless Copper plating for VLSI Curcuit

등록 : 2008.08.26 ⋅ 34회 인용

출처 : 과학기술부, , 한글 28 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.05
차세대 금속선 공정에 대한 종합적인 프로젝트를 수행하고 있으며, 무전해도금에 대한 가능성을 배제하지 않고 있다. 그동안의 무전해 도금에 관한 연구를 통하여 실제 구리공정에 적용할수 있는 기초 기술을 확보하였다. [;Prof. Dr. Karen Maex / 1997, pp. 28p. ]
  • 백금 도금 · Platinum Plating 백금은 내산화성ㆍ내식성ㆍ내열성 등이 우수하여 전지접점ㆍ전해용 [백금전극] 등에 많이 이용된다. [디니트로아미노백금] Pt(NH3)2(NO2)2 를...
  • 최신 알루미늄 휠의 화성처리로서, 브라스트 공정에 의한 내식성 격차해소를 목적으로 도입된 화학에칭 및 도막밀착성을 강화할 목적으로 SAM 을 이용한 후처리를 소개하였다.
  • 구리전기도금은 전자장치 제조를 위해 전자 산업에서 널리 사용된다. 특히 인쇄회로 기판 및 반도체 제조에 대해 연구된다. 높은 종횡비 회로기판 제조에 대한 전자...
  • 기능특성을 요구하는 기능도금은 자동관리기기가 극히 중요한 시스템기술로, 우수한 기기의 개발이 요구되어, 최근의 자동관리기기에 관하여 설명
  • 도금작업으로 인한 유해 폐기물의 양을 줄이기 위해 설계된 4가지 프로세스의 효율성을 결정하기 위해 미국 EPA 의 후원하에 수행된 사례 연구 결과에 대해 보고한다. 평가...