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무전해 NiB 도금을 이용한 마이크로패터닝에 있어서 착화제의 영향
Effect of complexing agents on micro-patter formation using electroless NiBplating

등록 : 2008.08.27 ⋅ 47회 인용

출처 : 표면기술, 49권 12호 1988년, 일본어 7 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.08.06
DMAB 를 환원제로한 붕소계 도금욕의 문제점인 레지스트상의 이상석출을 개선하기 위하여, 환원제에 DMAB을 이용한 무전해 NiB 도금의 패터닝기술의 확립

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