로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11078건

습식도금 자료분류

자료수 11079 건

추천글

Tag LIST

구리 다마신 전기도금에 있어서 트렌치 필링 기구의 모의 연구와 전기화학
Electrochemical and Simulative studies of Trench filling mechanism in the Copper damascene electroplating Process

등록 2014.08.22 ⋅ 24회 인용

출처 Materials Tracsaction, 43권 7호 2002년, 한글 6 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

Toshi Haba1) Tekryuki Itabashi2) Hauro Akahoshi3) Akihiro Sano4) Kinya Kobayashi5) Hiroshi Miyazaki6)

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.07
다마신 공정에서 구리전기도금조에서 첨가제의 역할이 조사되었다. 상향식 충진 모델을 제안하고 실험결과와 시뮬레이션 결과를 비교하여 확인 하였다. 구리표면을 흡수하고 구리침착을 억제하는 Janus Green B 및 Basic Blue 3 는 충진 성능을 향상시키기 위한 첨가제 사용을 조사했다.

연관글

  1. 연구문헌자료.. 고신뢰성 파인 마이크로비아의 형성
  2. 연구문헌자료.. 은을 도금 시드로 사용하는 새로운 구리 배선 형성 기술
  3. 연구문헌자료.. 액상 석출법에 의해 제막한 금속 산화물을 이용한 유리에의 고밀착 구리 도금
  4. 연구문헌자료.. 3차원 구현 TSV를 향한 무전해 도금 배리어 막 형성과 그 위의 직접 무전해 Cu 도금
  5. 연구문헌자료.. 프린트 배선판의 제조 기술과 기술 동향
  6. 도금기술노트.. APE9
  7. 도금기술노트.. BY1
  8. 연구문헌자료.. 첨단 패키지용 전기 도금 구리 첨가제 : 리뷰
  9. 연구문헌자료.. 나노 접착제로 폴리머 나노시트를 사용한 폴리이미드에 무전해 구리 도금
  10. 연구문헌자료.. 황산구리 수용액에서의 유속에 따른 구리 석출 형태 연구
  • 염산 히드라진을 환원제로한 붕사첨가 니켈-코발트 Ni-Co 합금도금액을 만들고, 제작된 니켈-코발트-붕소 Ni-Co-B 합금피막의 조성, 석출속도, 편활성, 균일전착성등에 ...
  • 바렐도금에 의하여 니켈도금액이 많이 묻어 나오게 됩니다. 폐수중의 붕소농도를 낯추는 방법을 알려 주시기 바랍니다.
  • 수용액에 Co, Ni 및 Mn 이온에 대한 착화제를 첨가하여 포화자화가 감소된 수직 자기 기록 매체를 안정적으로 제공할 수있는 무전해 도금욕을 얻는다.
  • Brenner 가 만든 하이포 포스파이트 함유 욕조에서 니켈-인 NiP 합금의 화학적 도금이 발견된 이후로, 소위 무전해도금 공정은 높은 종횡비 도금, 낮은 전력소비 및 도금가...
  • 무전해니켈도금에 사용되는 구연산 3-소다 및 니트릴 3-삭산을 착화제로 한 Ti(vi) 이온에 관하여, 환원제에 의한 Ti(iii) 이온의 재생에 관한 실험적 검토를 보고