로그인

검색

검색글 783건
다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 2011.07.29 ⋅ 55회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • 정전기 및 전자파투과에 의해 유발될 수 있는 장해 및 대응방안, 전자파차페에 대한 이론 및 전자파차폐 효율의 측정방법, 그리고 전자파차폐 섬유소재를 제조하는 여러방법...
  • 100 ℃ 근처의 온도에서 다결정 CuInxSy 필름의 전착에 초점을 맞추고, 몇가지 유기용매를 조사하였다. 가장 좋은 결과는 프로필렌 탄산염을 도금액에 혼합하고 에틸렌글리콜...
  • 안녕하세요~ 플라스틱 무전해 도금에 관해 궁금한것이 있어서 질문 올립니다. 우선 무전해 도금쪽으로는 입문단계라는것을 먼저 알려드립니다 ^^ 플라스틱에 무전해 니켈 도...
  • 대디오염, 수질오여므 겨울철 제비용 염화칼륨 살포등의 부식환경속에서 자동차 철판에 내구성과 아름다운 외관을 부여하고 있는 최근의 자동차 도장공정을 소개
  • 자기기록재료에 관하여 최근의 연구내용과 자기도금막의 동향을 설명