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검색글 P. Moçoteguy 1건
다마신 공정의 구리도금 모델
A Model of copper deposition for the damascene process

등록 : 2011.07.29 ⋅ 35회 인용

출처 : NA, NA, 영어 10 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

C. Gabrielli1) J. Kittel2) P. Moçoteguy3) H. Perrot4) A. Zdunek5) P. Bouard6) M. Haddix7) L. Doyen8)

기타 :

자료 :

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분류 :
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.15
다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되고 전기화학적 임피던스 측면에서 분석 된다. 실험 임피던스 결과는 염화물, PEG 및 MPSA를 포함하는 황산구리-황산욕및 산업용 구리 상호연결에 대한 이론과 비교 된다. 제안된 모델과 좋은 일치가 발견되었다.
  • 발명은 구리의 전착 및 그에 사용하기 위한 전해액 또는 욕에 관한 것이며 그에 대한 개선을 제공한다. 철, 철강, 아연, 지크 합금, 납, 납 합금, 알루미늄 등을 포함한 광...
  • 무전해니켈의 인함량과 특성 차아인산을 이용한 니켈-인 무전해도금의 특성은 인의 함량에 따라 달라지게 된다. 경도 인 함량이 감소함에 따라 도금피막은 더 강해진다. 마...
  • 중성 구연산 전해니켈도금욕에서 사카린의 영향을 연구하였다. 음극분극을 이용하여 사카린 농도의 영향을, 니켈 전기도금의 음극전류효율, 표면조직, 니켈 피막의 부식...
  • 구리도금 ^ Copper Plating bath 구리는 공기 중 변색하기 쉽지만 열 및 전기전도도가 양호하고 연하여 연마하기 쉽기 때문에 여러 가지 도금의 하지 도금으로 이용 된다. ...
  • 시안화물 용액에서 은 Ag 도금의 거동에 대한 광택제의 효과를 전위차단계 및 회전원전극 (RDE) 과 X선회절 (XRD) 및 주사전자 현미경 (SEM) 을 통해 연구 하였다. 은전착은...