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검색글 Gene Chalyt 2건
웨이퍼 수율증가 도금첨가제의 자동 온라인 관리
Automated online control of plating bath additives increases wafer yield

등록 2008.09.24 ⋅ 61회 인용

출처 na, Web, 영어 5 쪽

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
CVS (cyclic voltammetric stripping)를 기반으로한 새로운 세대의 다마신 구리 도금액 온라인 분석기는 소재의 수율 향상을 제공할수 있다. μm 미만의 고 종횡비 구조를 빈공간 없이 채우는데 일반적으로 요구되는 엄격한 공정은 첨가제를 좁은 범위내에서 유지하는 것이 중요하다. 이 문제는 정기적으로 도금탱크를 샘플링...
  • 황산구리에서 구리의 전착은 전자산업에서 광범위하게 사용된다. 도금욕은 용도에 따라 다르다. 구리의 특성은 광택제, 레벨러, 그레인 리파이너 등을 사용하여 맞춤화 할수...
  • 아연-망간 시스템은 널리 보고되지 않았다. 그러나 일부 연구자들은 부식저항성, 전착중 분극거동 및 가능한 전해질의 범위를 조사했으며 현저하게 매력적인 특징을 가지고 ...
  • 종래기술의 용액 및 방법과는 대조적으로, 변색방지 화합물이 사용되지 않고, 저장 이후에도 열화되지 않는 특성과 납땜이가능하고 결합가능한 은층의 제조를 위해 사용되는...
  • 중크롬산 용액의 대체제로서 여러 형태의 무기화합물을 조사, 검토한후 지르코늄 Zr 계 화합물을 선택하여 크롬대체 가능실험을 실시하였는데 산화지르코늄 ZrO2 계 산화피...
  • 몇가지 주석도금 건욕및 조건에관한 설명