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전기구리 도금에 의한 ULSI 배선의 제작
ULSI circuit produce by copper electroplating

등록 2008.08.23 ⋅ 65회 인용

출처 na, na, 일본어 1 쪽

분류 연구

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저자

기타

電気銅めっきによるULSI 配線の作製

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.29
황산구리 하이스로욕을 이용하여 전류밀도를 저전류밀도로부터 고전류밀도로 상승하여 양호한 스로홀도금을 하고, 평골성이 높은 피막을 만들기 곤란하여, 첨가제를 이용할때의 수루홀기능을 검토

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