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전기구리 도금에 의한 ULSI 배선의 제작
ULSI circuit produce by copper electroplating

등록 2008.08.23 ⋅ 68회 인용

출처 na, na, 일본어 1 쪽

분류 연구

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저자

기타

電気銅めっきによるULSI 配線の作製

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.29
황산구리 하이스로욕을 이용하여 전류밀도를 저전류밀도로부터 고전류밀도로 상승하여 양호한 스로홀도금을 하고, 평골성이 높은 피막을 만들기 곤란하여, 첨가제를 이용할때의 수루홀기능을 검토
  • 도금이란? ^ PlatingㆍGalvanizing 넓은 의미에서 도금은 어떤 물체에 다른 물체 막을 앏게 입히는 것으로, 성능과 기능 그리고 외관을 향상할 목적으로하는 처리를 의미한...
  • 전해액에서 두 종류 이상의 금속을 동시에 전해하기 위해서는 용액이 나타내는 음극압 곡선이 특정 전해 조건에 적합한 것이 중요하며 일반적으로 식초가 단순한 소금보다 ...
  • 광택은도금 SILBRITE SDC-7310 A/B는 장식은도금 및 기능 도금용 시안화욕 입니다. 석출면의 은백색 색상은 변색에 매우 강합니다. 전착된 층은 취성 없이 110 HV의 경도를 ...
  • 합성폐수로부터 구리의 전해추출에 대한 연구를 수행하였다. 그리고 무전해도금법을 이용하여 다공성 니켈 전극을 제조하여 음극으로 사용하였다. 전해추출을 이용하여 ...
  • 시스템 제어 가능성은 기능성박막 제조기술에서 중요한 요소다. 무전해도금 방식은 상대적으로 생산성이 높은 박막제조 방식으로 도체나 절연체나 상관없이 성막할수 있...