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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구
Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite

등록 : 2014.02.23 ⋅ 12회 인용

출처 : 한국재료학회지, 19권 6호 2009년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.03
구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
  • 1-하이드록시에탄-1,1-디포스폰산을 착화제로한 알칼리1욕으로 철-니켈-인 Fe-Ni-P 합금도금을 하고, 피막의 제작조건과 비정질화의 범위를 실험
  • DMAB 에 의한 활성화처리를 생략하고, 차아인산을 환원제로한 무전해니켈 도금욕에 DMAB 을 제 2 환원제로서 첨가한 도금욕을 이용하여 직접구리에 무전해니켈 도금 가능성...
  • 전기도금에서는 버핑을 추기하지 않고 미세 기계적인 마감처리 할수없는 영역에서 허용가능한 수단으로 광택도금을 형성하는 것이 바람직 하다. 이러한 제약은 버핑 또는 기...
  • 낮은 보자력을 가진 연자성피막의 제조방법의 일환으로 무전해도금된 니켈-코발트-철-인 Ni-Co-Fe-P 합금 피막의 자홍특성을 설명
  • 현재의 반도체 산업, 전자 기기의 제조는, 포토 패브리케이션 기술이 없으면 성립되지 않는다고 해도 과언이 아니다. 포토 패브리케이션이란 사진의 현상 기술을 이용하여 ...