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무전해석출 방법에 있어서 환원제 반응기구의 이론적 해석
Theoretical Analysis on the Reaction Mechanisms of Reducing Agents for Electroless Deposition Processes

등록 2009.07.22 ⋅ 37회 인용

출처 WASEDA University, February, 2007, 영어 180 쪽

분류 학위논문

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기타

無電解析出プロセスにおける還元剤反応機構の理論的解析

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.02
무전해도금 공정은 마이크로 일렉트로닉스, 나노 기술 등 다양한 분야에 적용된다. 환원제의 산화 반응에 의해 공급되는 전자에 의해 금속이 도금되는 과정이 진행되기 때문에 외부전원이 없고 나노 미터단위로 도금두께를 조절할수 있는 능력이있다. 이 공정은 전자의 소형화에 수반되는 미세한 상호연결 및 박막에 장점이 ...

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