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무전해석출 방법에 있어서 환원제 반응기구의 이론적 해석
Theoretical Analysis on the Reaction Mechanisms of Reducing Agents for Electroless Deposition Processes

등록 : 2009.07.22 ⋅ 31회 인용

출처 : WASEDA University, February, 2007, 영어 180 쪽

분류 : 학위논문

자료 : 있음(다운로드불가)

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기타 :

無電解析出プロセスにおける還元剤反応機構の理論的解析

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.02
무전해도금 공정은 마이크로 일렉트로닉스, 나노 기술 등 다양한 분야에 적용된다. 환원제의 산화 반응에 의해 공급되는 전자에 의해 금속이 도금되는 과정이 진행되기 때문에 외부전원이 없고 나노 미터단위로 도금두께를 조절할수 있는 능력이있다. 이 공정은 전자의 소형화에 수반되는 미세한 상호연결 및 박막에 장점이 ...
  • 실리콘웨이퍼에 무전해 구리 도금을 이용해서 하기위해서 일단 산화막을 제거하기위해서 PdCl2 처리를 해야한다고하는데 정확히 알수 있을까요?
  • CVS (Cyclic Voltammetry Stripping)는 미국 ECI 회사에서 첨가제를 측정하기 위해 개발되었다. 지금까지는 첨가제의 농도를 알기 위해 헐셀 시험 관리를하고 왔지만, 수치 ...
  • 침지 (변위) 도금은 도금액에 모재에 침지하여 금속도금을 피복하는 것이다. 하나의 금속은 치환된 금속이온 보다 산화 전위가 낮은 금속 이온으로 치환된다. 이는 무전해도...
  • 가용성 니켈염인 황산니켈 NiSO4, 착화제로서 호박산소다와 글리콜산을 사용하고 광택제로 산화텔러륨 TeO2 를 사용한 도금액에, 안정제로 로단 또는 로다닝 유도체를 사용...
  • 후지 일렉트릭은 1983 년에 양산 스퍼터링 기술을 개발하기 시작했다. 이때 시장에서 사용되는 자기디스크는 산화철의 산화철 또는 감마 헤마타이트 코팅 유형이었다. 또한 ...