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다마신 공정에서 구리석출의 모델
A model for copper deposition in the damascene process

등록 : 2014.08.22 ⋅ 16회 인용

출처 : Electrochimica Acta, 51권 2006년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.12.02
좁은 트렌치를 채우는 것으로 알려진 구리도금은 임피던스측정에 의해 회전 디스크로 연구하였다. 이 도금액의 조성은 황산, 황산구리 및 염화물 이온, 광택제로서 폴리에틸렌 글리콜 (PEG) 및 촉진제로서 3-메르캅토 -1-프로판설폰산, 나트륨염 (MPSA) 이 포함되었다. 실험 결과로 이러한 유기첨가제를 사용한 모델과 비교 ...
  • 공석장의 열처리재상에 금을 전석하고, 열처리에 의한 격자변태와 소지가 금막의 생성에 주는 영향을 밝히는 실험
  • BAOF 의 결정구조, 고전장성 자기구, 이온이동과 피막구조, 결정성 산화피막의 생성, BAOG 의 절연파괴, BAOF의 중성 용액중에 있어서 산화, BAOF 산화 Al의 아노드 분극시...
  • 바렐 니켈도금 ^ Barrel Nickel Plating 소형물을 대량 생산하기 위하여 도금물을 회전 또는 이동하는 바렐에 투입하여 도금하는 방법으로 [와트욕]의 조성을 사용한다. 바...
  • 흑색 도금강판의 제조방법으로 방식을 목적으로 아연, 아연합금, 주석 Sn, 니켈 Ni, 크롬 Cr 등의 도금을 강판상에 도금하였으나, 백색이 아닌 회흑색의 외관을 가지고 있다.
  • 붕불화구리 Copper Fluoborate CAS 207121-39-9 Cu(BF4)2 = 237.155 g/mol 청색결정으로 물에 용해 참고 [붕불화구리도금] [구리도금] [붕불산] wiki Copper Tetrafluoroborate