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구리전석에 있어서 첨가제에 따른 영향성 연구
Effect of additives on the copper Electrodeposition for ULSI metalization

등록 : 2008.08.23 ⋅ 39회 인용

출처 : NA, NA, 한글 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.07.15
전해도금 방법에 의해 구리 박막을 제조하고, 첨가제로써 PEG 및 UREA 등을 사용하고 이에 따른 영향성을 여러 가지 분석장비(AES, XRD, SEM 등)를 이용하여 살펴보는데 그 목적이 있다.
  • 서브 트랙티브법에 의한 프린트배선판 제법에 있어서 에칭 공정은 극히 중요하다. 에칭 기술의 변천과 미세회로 형성기술의 현황에 관하여 설명
  • EU RoHS (전기전자제품의 유해물질 제한 지침)와 중국 RoHS (전자정보제품오염방지관리법) 등 유해물질 관련 국제환경규제가 날로 강화됨에 따라 국내 중소기업의 효과적이...
  • 여러 조성을 가진 무전해 니켈-인 Ni-P 합금도금막을 만들어, 미세구조를 관찰하고, 미결정과 아몰포스상의 경계조식을 결정과, 무전해 Ni-P 도금막의 자기적성질을 자력계...
  • 주석구리합금도금은 넓은 전류밀도 범위에서 광택 도금막을 형성할수 있는 전기도금액이 제공된다. 전기도금액은 유기 설폰산의 금속염으로서 유기 설폰산, 2가 주석 및...
  • 금강사 (산화아루미나) Brown Aluminium Oxide 광범위하게 사용되는 연마재로 크리닝 및 도장전처리, 버핑, 연마용 등으로 사용한다. 알류미늄 광물로써 고온으로 용매되며,...