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검색글 H. Perrot 9건
다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 2011.07.29 ⋅ 57회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • 안식향산소다 ^ Sodium Benzoate 백색분말의 안식향산소다는 [산성아연도금]의 보조 광택제로 사용되어, 고르지 않은 안개낀 표면을 제거하고, 광택범위를 확장하며, 특히 ...
  • 두 전하 이동단계의 서로 다른반응 관계를 갖는 2단계 환원메커니즘을 적용함으로써 실험관찰을 질적으로 설명할수 있음을 보여주었다. 메커니즘의 타당성은 세가지 다른 실...
  • 실용상의 내열성을 고려하고 내마모성을 향상한 공업용 니켈-탄화규소 도금욕의 실험
  • 침지 금도금에 대한 차아인산나트륨 (SHP) 및 히이드록실 설페이트 (HAS) 와 같은 환원제의 영향을 연구하여 니켈 Ni 에 침지금 Au 도금의 부식 및 어려운 도금문제의 해결...
  • 모든 고강도 구조는 전기주조에 의해 생산되었다. 특정 미사일 및 항공 우주용 여러조직은 90.000-100.000 PSI 이상의 궁극적인 장력을 가진 니켈을 전기로 형성했다. 200.0...