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다마신 전기도금과 관련된 구리 표면의 경쟁적인 음이온/음이온 상호작용
Competitive anion/anion interactions on copper surfaces relevant for Damascene electroplating

등록 2022.02.16 ⋅ 62회 인용

출처 Electrochimica Acta, 70권 2012년, 영어 10 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

N.T.M. Hai1) T.T.M. Huynh2) A. Fluegel3) M. Arnold4) D. Mayer5) W. Reckien6) T. Bredow7) P. Broekmann8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.02.16
Cu(100)/전해질 모델 인터페이스에서 염화물과 SPS (비스-(나트륨-설포프로필)-디설파이드) 의 상호 경쟁 작용은 현장 STM 및 DFT 와 함께 순환 전압 전류법으로 연구하였다. 이 특정 음이온/음이온 상호작용은 첨단 온칩 금속화에 사용되는 산업용 Cu 다마신 공정의 맥락에서 서프레서 앙상블 비활성화에 가장 중요하다. 표...

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