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구리 전기도금의 표면처리 최적화
Optimized surface pretreatment for copper electroplating

등록 : 2012.11.06 ⋅ 48회 인용

출처 : Apploed Surface Science, 183rnjs 2001sus, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 건식도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.16
구리 전기도금 전에 구리 스퍼터 코팅된 TiN/Si (100) 에서 표면 천연산화물을 제거하는 기존 전처리 시스템의 능력을 조사했다. 구리 시드층에 있는 구리산화물은 표면전처리 공정에 의해 제거되어 균일하고 매끄러운 전기도금된 구리가 생성되었다. 시트 저항측정 및 AFM 분석은 1 : 200 NH4OH 용액을 사용하는 wer-cleani...
  • 아연-철 Zn-Fe 아연철합금도금은 산성 설페이트욕에서 베라트라 알데하이드와 세린사이에 형성된 축합생성물 2- {[(1E)- (3,4- 디 메톡시페닐) 메틸 리덴] 아미노} -3- ...
  • 여러방법의 세척분야를 포함한 세척의 전체에 관하여 메카니즘면에서 해설
  • 니켈 아연 크롬도금에 관하여 형광 X선 분석장치나 SEM 을 이용하여 두께측정법을 검토하고, 평판을 이용한 외주부와 중심부의 장소에 의한 두께차를 측정하여, 여러 도금의...
  • 무전해니켈은 화학적 환원을 통해 적합한 소재에 니켈합금을 도금하는 것을 설명하였다. 이 공정은 특히 유럽에서 자기촉매 니켈 또는 화학 니켈 이라고도 한다. 이러한...
  • ■ 삼양사 이온교환수지의 특징 ▶ 도금용수 처리용으로 적합한 양/음이온 혼합수지 ▶ 뛰어난 이온성분 제거능력으로 도금용수 채수에 적합 ▶ 대부분의 수처리장치에 가장 적...