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습식 에칭 기술동향
Trend of Wet etching technologies

등록 2008.09.03 ⋅ 59회 인용

출처 Web, na, 한글 11 쪽

분류 해설

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na1)

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
침지처리법 (Immersion processing) 은 유효성이 검증된 웨이퍼 세정방법 이지만 보다 엄격한 프로세스 허용오차가 요구됨에 따라 0.1 이하 급에 대응하기 위해 철저한 변신을 하고 있다. 새로운 batch 타입 단조식 (single -tank) 프로세스는 물에 불산 HF 를 희석시킨 DHF 용액을 이용하여 중요한 에칭공정에서 탁월한 균...

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