도금 첨가제 제조 원료약품 - 무전해도금에 의한 미세홀의 버텀업

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무전해도금에 의한 미세홀의 버텀업

Botto-up filll of Cu on Ultra-fine holes by electroless plating

등록 2008.08.25 ⋅ 52회 인용

출처 표면기술, 58권 7호 2007년, 일본어 5 쪽

분류 해설

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저자

Shoso SHINGUBARA¹⁾ Zengling WANG²⁾

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분류 전해도금 ⋅ 비아필링 ⋅

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자료요약

카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.08.20

미세홀의 비아필링을 위하여, 몇가지 첨가제의 효과를 비교검토하고, 전해구리도금에서 유기 유황계 첨가제를 선택하고, 무전해도금에서의 작용을 연구

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