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레이저 드릴 비아홀 충전의 구리 전기도금에 대한 광택제와 염화물 이온 간의 상호 작용
Interactions Between Brightener and Chloride Ions on Copper Electroplating for Laser-Drilled Via-Hole Filling

등록 2022.02.19 ⋅ 54회 인용

출처 Elec. Solid-State Letters, 6권 9호 2003년, 영어 3 쪽

분류 연구

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Electrochemical and Solid-State Letters

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.07.13
구리 전기도금에 의한 충진 조사를 위해 인쇄회로 기판에 레이저 융제에 의해 형성된 85 및 110 ㎛ 의 구멍 크기를 가진 블라인드비아를 사용하였다. 조성된 도금액은 산성 황산구리, 폴리에틸렌글리콜, 3-mercapto-1-propanesulfonate (MPS) 및 염화물 이온으로 구성되었다. 적절한 MPS 농도에서 '상향식' 충전 거...

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