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알칼리 전해욕 착화에서 상향식 구리 도금의 첨가제
Additives for Bottom-up Copper Plating from an Alkaline Complexed Electrolyte

등록 : 2018.02.05 ⋅ 32회 인용

출처 : Electrochemical Society, 160권 12호 2013년, 영어 3 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.03.13
버텀업 충전제를 제공하는 첨가제가 포함된 알칼리성 타르트레이트 복합구리 도금액을 설명하였다. 버텀업 필링은 비스 -(3-설포프로필) 이황화물 (SPS) 과 폴리에틸렌이민 (PEI) 의 두가지 첨가제의 혼합물을 사용하여 만들어진다. 크로로 포텐시오미터 연구에 따르면 기존의 산성도금액과 달리 SPS 는 '억제제' 역할을 하...

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