로그인

검색

검색글 11135건
구리 다마신 화학작용의 전기화학 임피던스 관찰
Electrochemical Impedance Monitoring of Copper Damascene Chemistries

등록 2011.07.29 ⋅ 116회 인용

출처 NA, NA, 영어 14 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

Alan Zduneka1) Delia Nieto Sanzb2) Claude Gabrielli3) Philippe Moçoteguy4) Hubert Perrot5) Hung Ming Chen6) Satish J. Parulekar7)

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.07
초등각 도금을 통해 구리를 서브미크론 피처에 도금할수 있는 유망한 전기적특성과 기능은 구리전기도금 기술을 반도체 금속화 공정의 주류로 가져 왔다. 그러나 비아 및 트렌치에서 구리의 초등 각 도금을 수행하는 능력은 황산구리/황산 기반 전기도금조에 대한 특정 유기첨가제에 크게 좌우된다. 무결점 도금을 위해...
  • 은도금액 불량대책 ^ Silver Plating Bath Trouble Shooting 검은색 양극ㆍ전류효율 낮음 유리시안화물 부족 ⇒ 분석후 KCNㆍNaCN 보충 피트ㆍ조잡한 도금 탄산염의 과대 ⇒ ...
  • 공정단축화를 위하여, 화성처리전의 단계로 탄닉산의 가교를 시도하고, 가교탄닉산에 의한 화성처리를 검토하고, 처리기재의 내식성 및 피막조성을 조사
  • 부동태 ㆍ Pasivity 화학적 또는 전기적으로 소재 표면이 반응이나 용해가 정지되는 상태로, 금속표면에 부식작용에 반대하는 산화피막이 만들어진 형태이다. 이 피막은 용...
  • 집적회로의 배선폭이 1 μm 이하로 줄어들고, 처리속도가 빨라지고 전류밀도가 증가함에 따라 비저항이 크고 Electromigration 에 약한 알루미늄 중심의 배성 재료는 부적합...
  • 질산은 염의 존재하에서 전기착색 양극 산화층의 특성에 대한 모노카복실산과 디카복실산의 다양한 효과를 설명 하였다.