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구리 다마신 화학작용의 전기화학 임피던스 관찰
Electrochemical Impedance Monitoring of Copper Damascene Chemistries

등록 2011.07.29 ⋅ 116회 인용

출처 NA, NA, 영어 14 쪽

분류 연구

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저자

Alan Zduneka1) Delia Nieto Sanzb2) Claude Gabrielli3) Philippe Moçoteguy4) Hubert Perrot5) Hung Ming Chen6) Satish J. Parulekar7)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.07
초등각 도금을 통해 구리를 서브미크론 피처에 도금할수 있는 유망한 전기적특성과 기능은 구리전기도금 기술을 반도체 금속화 공정의 주류로 가져 왔다. 그러나 비아 및 트렌치에서 구리의 초등 각 도금을 수행하는 능력은 황산구리/황산 기반 전기도금조에 대한 특정 유기첨가제에 크게 좌우된다. 무결점 도금을 위해...

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