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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 P. Moçotéguy 8건
구리 다마신 공정 화학으로 만든 박막 전착 피막에 대한 전기 음향 측정
Electroacoustic Measurements on Electrodeposited Films Obtained from Copper Damascene Process Chemistries

등록 2011.07.29 ⋅ 49회 인용

출처 Electrochemical and Solid-State Letters, 7권 4호 2004년, 영어 3 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Mocoteguy2) H. Perrot3) A.Zdunek4) P.Bouard 5), M. Haddix

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.07
다마신 전기도금 공정은 고성능 구리 인터커넥트를 실현하기 위해 마이크로 전자 기술에 주로 사용된다. 그러나 초등각 전착 측면에서 전착물의 품질은 잘 관리되지 않는다. 보이드가 없는 전착물을 얻으려면 수퍼필링 이라고도하는 초등각 전착이 필요하다. 초등각 전착은 입구보다 캐비티 바닥에서 더 빠른 전착이...

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